探针的种类有哪些 探针的选用与要求

一、探针的种类有哪些

在晶圆或芯片测试的过程中，通常会使用探针来准确连接晶圆或芯片的引脚或锡球与测试机，以便检测产品的导通性、电流性、功能性和老化性等性能指标。那么你知道探针的种类有哪些吗？

1、就结构而言，常见的探针类型主要包括弹性探针、悬臂探针和垂直探针

（1）弹性探针

可弹性探针是一个由螺旋弹簧组成的探针，其两端连接在上下柱栓上。螺旋弹簧的中间部分紧密缠绕在一起，以防止产生额外的电感和附件电阻。而弹簧的两端部分则被稀疏缠绕，以降低探针对被测试物体的压力。在检测集成电路时，信号会从下柱栓流向上方，形成导电路径。

（2）悬臂式探针

悬臂探针为探针部提供适当的纵向位移，用于通过横向悬臂接触待测半导体产品，以避免探针部对待测半导体产品施加过大的针压。

（3）垂直式探针

垂直探针可以对应高密度信号触点的待测半导体产品的细间距排列，针尖接触待测半导体产品所需的纵向位移可以通过针体本身的弹性变形来提供。

2、根据探针材料的划分，常见的有钨探针、钒铜探针和钨合金探针

其中，钨髁合金探针具有稳定的接触电阻，兼顾硬度和柔韧性，不易发生探针偏差。因此，钨髁合金探针是目前性能良好的一种常见探针。

3、根据探针的工作频率，探针分为同轴探针和普通探针

同轴探针用于对测试频率比较敏感的测试环境；普通探针用于对信号衰减不敏感的测试环境。

二、探针的选用与要求

1、探针的选用

（1）材料：选择材质通常为316不锈钢、金属玻璃、石英玻璃、硅、玻璃钢等。不同材料的探针具有不同的化学惰性和机械性能，对探测的液体和气体有不同的适应性。

（2）形状：选择探针的形状应该根据实验需求进行选择，通常探针的形状为直棒状、U形、Z形等。考虑到实验的灵敏度问题，在选用探针时必须与被测物相匹配。

（3）长度：探针的长度是下降液面幅度的关键因素。为获得准确的下降水平，要根据实际测量需求选择合适的长度。

（4）直径：探针的粗细通常采用0.5mm至5mm之间。过粗的探针会影响测量的灵敏度，过细的探针则可能会导致探针的折断。

（5）表面处理：在实验中，探针处于探测的介质中，探针的表面形态和性质会直接影响到测量结果。因此，探针的表面要求经过光洁处理和表面处理。

2、探针的要求

（1）质量问题：在使用过程中应定期进行质量检查。探针的质量差会导致测量误差增大，严重时可能会损坏实验设备。

（2）加工工艺问题：在探针的制作过程中，要保证探针的形状、尺寸的精确与稳定。

（3）使用注意事项：避免在测量过程中引入空气，勿使用有陷进、连续的探针以免扰动测量，对于使用多个探针进行测量的情况要确保探针之间的长度和间距足够。

（4）存储和保养问题：尽可能地保证存储环境无除尘、避光性好；探针表面不能有刮伤等损坏，使用前应清洗干净且消毒处理。