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DFB激光器的结构组成 dfb激光器结构介绍

本文章由注册用户 名品资讯 上传提供 2026-01-13 评论 发布 纠错/删除 版权声明 0
摘要:DFB激光器的结构是实现其分布式反馈和单纵模输出特性的核心,整体为半导体波导型器件,从纵向分层和横向功能模块两个维度可清晰拆解其组成,纵向结构包括衬底、下包层、波导与光栅层、源区、包层五层结构,横向功能模块包括输入输出端面、光栅区、电极三个区域。本文小编为大家带来dfb激光器结构介绍。

DFB激光器的结构组成

一、 纵向分层结构(垂直于波导方向)

这种分层设计的核心目的是限制载流子和光场,让注入的电流集中在有源区产生增益,同时让光场局限在波导内传播,减少能量损耗。通常包含以下五层:

1.衬底

作为整个器件的支撑基底,选用与外延层晶格匹配的半导体材料,常见的有InP(铟磷)适配 1310nm/1550nm 通信波段的 InGaAsP 有源区,GaAs(砷化镓)适配 850nm 波段的 AlGaAs 有源区。衬底一般为 N 型掺杂,为载流子传输提供通路。

2.下包层

位于衬底上方,采用 N 型重掺杂的宽禁带半导体材料,其折射率低于有源区和波导层。通过折射率差实现光场的垂直限制,防止光向衬底方向泄露;同时作为电流传输的通道,将电子输送到有源区。

3.波导与光栅层

这是 DFB 激光器的核心功能层,分为两个子结构:

波导层:位于有源区附近,折射率略高于包层,用于引导光场沿器件长度方向传播,材料通常与有源区兼容。

布拉格光栅:通过电子束曝光、全息光刻或干法刻蚀等工艺,在波导层(或有源区表面)制作出周期性折射率变化的条纹结构。光栅周期 Λ 由目标输出波长决定,满足布拉格条件。部分高性能 DFB 激光器会在光栅中间引入λ/4 相移,消除模式分裂,提升单纵模稳定性。

4.有源区

光增益的产生区域,是激光器的 “发光核心”,采用量子阱(Quantum Well) 结构(多为多量子阱 MQW),材料为窄禁带半导体(如 InGaAsP、AlGaAs)。当电流注入时,电子和空穴在有源区复合,通过自发辐射和受激辐射产生光子。有源区的厚度极薄(通常几十纳米),量子限制效应可提升增益效率,降低阈值电流。

5.上包层

位于有源区上方,采用 P 型重掺杂的宽禁带半导体材料,折射率低于有源区和波导层,与下包层配合实现光场的垂直限制;同时作为电流通路,将空穴输送到有源区。

6.接触层

位于上包层顶部,采用高掺杂的半导体材料(如 InGaAs),降低金属电极与半导体之间的接触电阻,让电流更高效地注入有源区。

二、 横向功能模块(沿波导长度方向)

从器件的端面到另一端面,横向可分为三个功能区域:

1.输入输出端面

器件的前后两个端面,为了消除端面反射带来的多纵模干扰,通常会镀制抗反射(AR)涂层,将端面反射率降低到 0.1% 以下,避免形成 FP 谐振腔。

2.光栅区

覆盖器件的大部分长度,布拉格光栅分布在这个区域,提供分布式反馈,筛选出满足布拉格条件的波长光进行振荡放大。

3.电极

分为 P 极和 N 极:P 极制作在顶部接触层表面,通常为条形电极(限制电流注入区域,提升增益效率);N 极制作在衬底背面,为整个器件提供公共电极。当在两极之间施加正向电压时,电流注入有源区,触发受激辐射。

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