DFB激光器的结构组成
一、 纵向分层结构(垂直于波导方向)
这种分层设计的核心目的是限制载流子和光场,让注入的电流集中在有源区产生增益,同时让光场局限在波导内传播,减少能量损耗。通常包含以下五层:
1.衬底
作为整个器件的支撑基底,选用与外延层晶格匹配的半导体材料,常见的有InP(铟磷)适配 1310nm/1550nm 通信波段的 InGaAsP 有源区,GaAs(砷化镓)适配 850nm 波段的 AlGaAs 有源区。衬底一般为 N 型掺杂,为载流子传输提供通路。
2.下包层
位于衬底上方,采用 N 型重掺杂的宽禁带半导体材料,其折射率低于有源区和波导层。通过折射率差实现光场的垂直限制,防止光向衬底方向泄露;同时作为电流传输的通道,将电子输送到有源区。
3.波导与光栅层
这是 DFB 激光器的核心功能层,分为两个子结构:
波导层:位于有源区附近,折射率略高于包层,用于引导光场沿器件长度方向传播,材料通常与有源区兼容。
布拉格光栅:通过电子束曝光、全息光刻或干法刻蚀等工艺,在波导层(或有源区表面)制作出周期性折射率变化的条纹结构。光栅周期 Λ 由目标输出波长决定,满足布拉格条件。部分高性能 DFB 激光器会在光栅中间引入λ/4 相移,消除模式分裂,提升单纵模稳定性。
4.有源区
光增益的产生区域,是激光器的 “发光核心”,采用量子阱(Quantum Well) 结构(多为多量子阱 MQW),材料为窄禁带半导体(如 InGaAsP、AlGaAs)。当电流注入时,电子和空穴在有源区复合,通过自发辐射和受激辐射产生光子。有源区的厚度极薄(通常几十纳米),量子限制效应可提升增益效率,降低阈值电流。
5.上包层
位于有源区上方,采用 P 型重掺杂的宽禁带半导体材料,折射率低于有源区和波导层,与下包层配合实现光场的垂直限制;同时作为电流通路,将空穴输送到有源区。
6.接触层
位于上包层顶部,采用高掺杂的半导体材料(如 InGaAs),降低金属电极与半导体之间的接触电阻,让电流更高效地注入有源区。

二、 横向功能模块(沿波导长度方向)
从器件的端面到另一端面,横向可分为三个功能区域:
1.输入输出端面
器件的前后两个端面,为了消除端面反射带来的多纵模干扰,通常会镀制抗反射(AR)涂层,将端面反射率降低到 0.1% 以下,避免形成 FP 谐振腔。
2.光栅区
覆盖器件的大部分长度,布拉格光栅分布在这个区域,提供分布式反馈,筛选出满足布拉格条件的波长光进行振荡放大。
3.电极
分为 P 极和 N 极:P 极制作在顶部接触层表面,通常为条形电极(限制电流注入区域,提升增益效率);N 极制作在衬底背面,为整个器件提供公共电极。当在两极之间施加正向电压时,电流注入有源区,触发受激辐射。