1961年,毕业于清华大学无线电电子工程系,随后进入中国科学院半导体研究所工作。
1986年,调入中国科学院微电子中心(现中国科学院微电子研究所)工作。
1986年 - 1989年,担任中国科学院微电子中心第一届副主任。
1991年 - 1997年,担任中国科学院微电子中心第二届、第三届主任。
1991年,当选为中国科学院学部委员(院士)。
1992年,被国家科学技术委员会聘为“深亚微米结构器件和介观物理”项目首席科学家。
1991年,当选为中国科学院学部委员(院士)。
1992年,荣获全国“三八”红旗手称号。
1992年,荣获“九五”国家重大科技攻关先进个人称号。
2004年,荣获“何梁何利基金科学与技术进步奖”。
1998年,项目《全套0.8微米CMOS工艺技术》荣获“中国科学院科技进步一等奖”。
1999年,项目《全套0.8微米CMOS工艺技术》荣获“国家科技进步二等奖”。
2003年,项目《先进的深亚微米工艺技术及新型器件》荣获“北京市科学技术一等奖”。