1961年，毕业于清华大学无线电电子工程系，随后进入中国科学院半导体研究所工作。
1986年，调入中国科学院微电子中心（现中国科学院微电子研究所）工作。
1986年 - 1989年，担任中国科学院微电子中心第一届副主任。
1991年 - 1997年，担任中国科学院微电子中心第二届、第三届主任。
1991年，当选为中国科学院学部委员（院士）。
1992年，被国家科学技术委员会聘为“深亚微米结构器件和介观物理”项目首席科学家。
1991年，当选为中国科学院学部委员（院士）。
1992年，荣获全国“三八”红旗手称号。
1992年，荣获“九五”国家重大科技攻关先进个人称号。
2004年，荣获“何梁何利基金科学与技术进步奖”。
1998年，项目《全套0.8微米CMOS工艺技术》荣获“中国科学院科技进步一等奖”。
1999年，项目《全套0.8微米CMOS工艺技术》荣获“国家科技进步二等奖”。
2003年，项目《先进的深亚微米工艺技术及新型器件》荣获“北京市科学技术一等奖”。
