1952年 - 1956年，就读于清华大学无线电系，获学士学位。
1956年，毕业于清华大学无线电系并留校任教，先后担任清华大学电子工程系助教、讲师、副教授，清华大学无线电电子学研究所所长、教授。
1960年 - 1963年，在苏联列宁格勒电工学院进修。
1983年 - 1985年，在美国斯坦福大学应用物理系进修并任访问教授。
1994年 - 1999年，兼任中国科学院半导体研究所副所长。
2002年 - 2009年，担任教育部科技委员会副主任。
2003年 - 2004年，担任中国科学院技术科学部主任。
2004年 - 2006年，担任中国科学院信息技术科学部主任、国家光电子工艺中心主任、中国光学学会理事长、国际光学联合会副主席等职务。
1978年，荣获“全国科技大会奖”。
1991年，当选中国科学院学部委员（院士）。
2001年，当选发展中国家科学院院士。
2003年，荣获“何梁何利基金科学与技术进步奖”。
