ITO靶材是什么材料 ITO靶材应用领域

一、ITO靶材是什么材料

ITO靶材，全称为氧化铟锡靶材，是电子信息工业领域的关键材料之一。氧化铟锡（英文全称为Indium Tin Oxide，简称“ITO”），由氧化铟和氧化锡粉末按照一定比例混合后，经过一系列的生产工艺加工成型，再高温烧结形成的黑灰色陶瓷半导体材料。薄薄的氧化铟锡在可见光范围内呈现透明状。不过在红外光线下，氧化铟锡层起着不透明的作用，反射红外线。

氧化铟锡作为一种n型半导体材料，具有高的导电率、优异的可见光透过率、较强的机械硬度和良好的化学稳定性，主要用于制作液晶显示器、平板显示器、等离子显示器、触摸屏、电子纸、有机发光二极管、太阳能电池、抗静电镀膜、EMI屏蔽的透明传导镀、各种光学镀膜等。

ITO靶材是溅射靶材中的一种，主要通过磁控溅射将ITO靶材气化，溅镀到玻璃基板或柔性有机薄膜上，制造成ITO薄膜，后者为透明导电氧化物薄膜，厚度一般为30-200纳米。

二、ITO靶材应用领域

1、平板显示器（纯度5N）

在平板显示领域，ITO靶材主要用于制作ITO导电玻璃及触控屏电极平板，是LCD、PDP、OLED、触摸屏等各类平板显示器件制备的核心材料。显示面板一般涉及上下两层ITO导电膜，用量较大，ITO靶材是平板显示领域用量最大的靶材之一。

ITO导电膜玻璃按电阻分为：高电阻玻璃（电阻范围在150~500欧姆）、普通玻璃（电阻范围在60~150欧姆）、低电阻玻璃（电阻范围小于60欧姆）。其中高电阻玻璃一般用于静电防护、触控屏幕制作用；普通玻璃一般用于TN类液晶显示器和电子抗干扰；低电阻玻璃一般用于STN、TFT液晶显示器和透明线路板。

LCD面板组件总厚度不到1公分，内部包含20多项材料及元件。不同类型LCD所需材料不尽相同，但基本结构类似，即在ITO导电膜玻璃内夹着彩色滤光片、偏光板、配向膜等材料，灌入液晶材料，后封装成一个液晶盒。因此，ITO导电膜玻璃作为LCD面板的关键基础材料，约占LCD面板材料成本的30%，而ITO靶材约占导电玻璃成本的20%。

2、薄膜太阳能电池（纯度4N）

ITO是一种透明导电层，在太阳能电池中作为透光层，同时作为电极，一般为正极，另一个电极一般以金属银或铝作为背电极使用。ITO靶材主要用于生成太阳能薄膜电池的背电极，主要需求为方形板状靶材。

3、保温透光领域

ITO透明导电膜玻璃作为面发热体，通电后可以除冰霜，用于飞机挡风玻璃、飞机眩窗、激光测距仪、潜望镜观察窗等，多年来已得到了广泛的应用。ITO透明导电膜玻璃正反面具有相反的红外线通过及反射性能，玻璃正面具有优良的红外线通过性，衰减量极小，而反面又具有红外线阻挡反射作用，因而该种玻璃具有优良的保温透光性能，已大量用于制造冷藏柜，随着成本的降低将有望用于房屋节能。