一、溅射靶材是否属于稀缺资源
稀有金属，通常指在自然界中含量较少或分布稀散的金属，它们难于从原料中提取，在工业上制备和应用较晚，但在现代工业中有广泛的用途。中国稀有金属资源丰富，如钨、钛、稀土、钒、锆、钽、铌、锂、铍等已探明的储量，正在逐步建立稀有金属工业体系。
稀有轻金属：包括锂Li、铷Rb、铯Cs、铍Be。比重较小，化学活性强。
稀有难熔金属：包括钛、锆、铪、钒、铌、钽、钼、钨。熔点较高，与碳、氮、硅、硼等生成的化合物熔点也较高。
稀有分散金属：简称稀散金属，包括镓、铟、铊、锗、铼以及硒、碲。大部分赋存于其他元素的矿物中。
稀有稀土金属：简称稀土金属，包括钪、钇及镧系元素。它们的化学性质非常相似，在矿物中相互伴生。
稀有放射性金属：包括天然存在的钫、镭、钋和锕系金属中的锕、钍、镤、铀，以及人工制造的锝、钷、锕系其他元素和104至107号元素。
上述分类不是十分严格的。有些稀有金属既可以列入这一类又可列入另一类。例如铼可列入稀散金属也可列入稀有难熔金属。但是从上述描述中不难看出，有些特殊应用的溅射靶材的金属成分的确属于稀缺资源。
二、贵金属靶材可以回收再利用吗
贵金属靶材是可以回收再利用的，在加程中打穿的靶材或残料什么都是可以回收再利用的。比如金靶材、银靶材、钯靶材等都可以回收再利用。以ITO银靶材为例，生产加工时银靶材会被打穿，产生的丝状残料这些都是可以回收再利用的，废料上会沾染少量的铟，说是氧化用的，这种铟元素处理一下就可以了。所以含金、银、钯、铂、铑这些贵金属的靶材都可以回收再利用的，还有合金靶材之类的。
