多弧离子反应镀膜设备可镀色彩 各种靶材对应的PVD镀膜颜色

一、多弧离子反应镀膜设备可镀色彩

1、镀银灰色∶用钛靶材，真空镀抽至1.5×10-2Pa，充Ar（氩气）至1.0×10-1Pa左右镀三分钟左右。（产生Ti金属层）

2、镀银白色∶用铬靶材，真空度抽至1.0×10-2Pa，充Ar（氩气）至1.5×10-1Pa左右镀三分钟左右。（产生Cr金属层）

3、镀金色∶用钛靶材，真空度抽至1.5×10-2Pa，充Ar（氩气）至1×10-1Pa镀60秒—关氩气（Ar）—开氮气至2~4×10-1Pa镀4分钟左右（产生TiN化合物）

4、镀古铜色∶用一半钛靶材，一半钛铝靶材，充Ar（氩气）至1×10Pa-1开钛靶镀50秒—关Ar（氩气）开氮气至1×10-1Pa—开钛靶、钛铝靶—充乙炔150流量左右，氮气调至3×10-1Pa左右，镀4分钟（加热炉体至200°C左右）。（产生TiCN和TiN化合物）

5、镀玫瑰金色∶跟古铜色一样操作，只是乙炔在60流量左右，氮气调至2.5×10-1Pa左右（氮气、乙炔要同时加进去反应，乙炔要保持不变，真空度多少只调节氮气流量，古铜跟玫瑰金同样调节）。（产生TiCN化合物）

6、镀五彩色∶用钛靶材，充Ar（氩气）至1.0×10-1Pa镀1分钟后，关氩气，开N氮气至2.5×10-1Pa镀70秒后关氮气，开氧气O2至4.5×10-1Pa镀160秒左右，（产生TiO2、Ti2O3等氧化物）

7、镀珠光色∶用钛靶材，充O2（氧气）在6.5×10-1Pa~7.5×10-1Pa不变动，镀40秒左右即可，注意同时引弧，加热炉体至180°C。（产生TiO2、Ti2O3等氧化物）

8、镀18K金色∶用锆靶材，充Ar（氩气）至1.0×10-1Pa镀30秒，关氩气，开氮气至2~4×10-1Pa左右镀3~4分钟即可。（产生ZrN化合物）

9、镀土豪金色∶装一半钛靶材，一半错靶材，充Ar（（氩气）1.0×10-1Pa镀钛靶30秒后关氩气，开氮气至2~4×10-1Pa左右，开钛靶、锆靶，镀4分钟左右。（产生TiZrN化合物）

10、镀透明七彩色（AB彩）∶用钛靶材，充O2（氧气）至6.5~7.5×10-1Pa镀4分钟左右，加热炉户温150°C。（产生TiO2、Ti2O3；TiO、等氧化物）

11、镀酒红色∶用铁靶材，充O2（氧气）至7.5~9.5×10-1Pa镀4~6分钟，加热炉温150°℃左右，弧焊机电流在150A左右（产生Fe2O3氧化物）。

12、镀琥珀色∶用铁靶材，充O2（氧气）至7.5~9.5×10-1Pa镀1.5~2.5分钟，加热炉温150℃左右，弧焊机电流在150A左右。（产生Fe2O3氧化物）

13、镀宝石蓝色，用钛靶材，充Ar（氩气）至1.0×10-1Pa镀60秒后关氯气，开氮气800-900流量，同时开氧气1000-1130流量（真空控制在2.5~3.5×10-1Pa镀110秒左右）。（产生TiO2、Ti2O3、TiO、等氧化物和TiN化合物的混合膜层）

14、镀紫色∶同十三号工艺，充氮气和氧气的镀膜时间控制在60-70秒左右，真空在2.5~3.8×10-1Pa左右即可。

15、镀铬黑色∶用钛Ti和铬靶材，先充入氩气Ar在1×10-1Pa镀60秒左右，关钛靶，开铬靶，关小氯气至80-120流量再通入CH乙快气至8~9.0×10-1Pa，镀300秒左右。（产生CrC黑色膜层）

16、镀枪黑色∶用钛靶材，充入Ar气在1.0×10-1Pa镀60秒后，关小氩气至80-120流量，再通入CH乙炔气在8~9×10-1Pa镀300秒左右。（产生TiC化合物膜层）。

二、各种靶材对应的PVD镀膜颜色

选择靶材种类、材质和气体（氮气、氧气、乙炔、甲烷、等），确定靶材及气体种类，然后调整气体比例、用量、溅射功率、溅射时间、基材处理温度、溅射温度、溅射时间等工艺参数，制备出颜色膜层，广泛应用于装饰性镀膜行业。

靶材膜层颜色可调的PVD镀膜方法

1、镀金属膜层，将待镀产品传入装有金属靶材的镀膜腔室，开启泵抽真空及加热装置进行基底加热，使得本底真空达到1×10-3Pa及达到80-150℃工艺温度后，向腔室通入10-1000sccm的氩气，启动溅射电源，设置溅射功率1-15KW，镀膜时间10-300S，得到厚度为1-100nm的金属膜层，金属膜层为铜（Cu）、银（Ag）、铝（Al）、铬（Cr）等金属膜层，或镍铜（NiCu）、镍铬（NiCr）等合金膜层。

2、镀低折射率膜层，将镀完金属膜层的产品传入装有可形成低折射率膜层的靶材镀膜腔室，加热达到80-150℃的工艺温度，向腔室通入工艺气体，设置溅射功率1-15KW，镀膜时间1-300S，得到厚度为1-100nm的低折射率膜层，此低折射率膜层为氧化硅、氮化硅等膜层。

3、镀高折射率膜层，将镀完低折射率膜层的产品传入装有可形成高折射率膜层的靶材镀膜腔室，加热达到80-150℃的工艺温度，向腔室通入工艺气体，设置溅射功率1-15KW，镀膜时间1-300S，得到厚度为1-100nm的高折射率膜层，所述高折射率膜层为氧化钛、氮化钛、氧化锆、氮化锆、氧化铌、氮化铌、氧化锌、氧化铟、氧化铝、氧化铁、氧化铬、氮化铬等膜层，此高低折射膜层的工艺气体为Ar、N2、O2中的至少一种，其中Ar气体流量为10-1000sccm，N2气体流量为10-1000sccm，O2气体流量为10-1000sccm。

4、重复步骤二和步骤三数次，得到不同颜色的膜层，重复步骤二和步骤三的次数为1-100次。

以下是PVD真空镀膜装饰薄膜常用材料及其常用气体制作的各类装饰颜色涂层：

锆靶+氮气：黄绿金黄色

锆靶+甲烷：深浅黑色

锆+氧气：白色、透明膜

锆靶+氮气+甲烷：金色、仿玫瑰金

铬靶+甲烷：深浅黑色

铬靶+氮气：浅黑色

铬靶+氮气+甲烷：银灰色

铬靶+氧气：黄色、紫色、绿色

铬靶+氧气：银色

不锈钢靶+氧气：紫色

不锈钢靶+氮气：蓝色

不锈钢靶+甲烷：亮黑色

不锈钢靶+甲烷+氮气：蓝黑色

硅+氮气：黑色

硅靶+氧气：混浊白、透明膜

硅靶+甲烷：黄色、绿色、蓝色、黑色（靶材纯度高于99%仅能调黑色）

钛靶+氧气：光学膜七彩截色

钛靶+甲烷：深浅黑色（DLC制备不能达标）

钛靶+氮气：仿金色、黄铜色、紫色、红色

钛靶+氮气+甲烷：仿玫瑰金、黑绿色、复古黄、棕色、紫色

钨靶+氮气：棕黄色

钨靶+甲烷：深浅黑色

钨靶+氧气：紫色、鲜黄色、棕色、蓝色