一、半导体设备检修工具有哪些
半导体设备是一种高精度的机器，在现代化工业发展过程中，流水线的生产操作对于半导体设备要求较高，一旦出现故障会直接影响整个企业的生产进程，因此需要定期进行维修保养，防止出现故障发生导致停产，对企业造成较为严重的经济损失，半导体设备检修可以用到哪些工具？
1、气浮搬运平台
气浮搬运平台利用空气悬浮在地面上，与地面不接触，防止半导体设备受到振动和冲击，同时保护地面不受损伤，可以实现精确的位置控制，保质期四年。
2、带滑台爪式千斤顶
带滑台爪式千斤顶可以实现前后100mm水平移动，顶升平稳无晃动，可以实现高精度的升降和定位控制，可定制无尘型。
3、楔形千斤顶
楔形千斤顶只需5mm的缝隙，楔头即可插入起升至34mm的高度，手柄可以360度旋转，能用于狭窄空间。
4、滑动纸
滑动纸人力即可推动1至9吨的重物，调整范围为1cm-5cm，半导体设备检修结束后抬起约1mm的高度即可拉出滑动纸，操作简单，轻松便携。
二、半导体设备检修流程介绍
半导体设备出现故障后，先做好总体分析，然后仔细检查故障问题。
1、首先，检查半导体设备周围的冷冻机、真空压缩机、变压器等是否运行正常，如果这些设备都正常，再排查和检查半导体设备主体，检修人员贸然拆解半导体设备会损坏元器件，重复的返工会浪费大量物力、人力和财力。
2、其次，全面了解半导体设备情况，确定半导体设备故障范围，有针对性地采用检修方法，半导体设备包括附加部分、传送部分、动力部分、控制部分等，控制部分是半导体设备中最精密的部分，应重点检查这个部分，逐一排查电路板模块，反复进行对比分析，仔细检查半导体设备故障位置。
3、最后，仔细清理半导体设备灰尘，检查各个板件的焊接和线路连接，很多半导体设备在长时间使用过程中接口和插头容易堆积大量灰尘导致漏电事故，线路板发生氧化形成虚焊，对于这些问题，检修人员应积极进行检修维护。
