一、启动真空系统
拉出低压阀,打开充气阀,确认听不到气流声后,启动升钟罩阀,使钟罩升起。对于某些机型,需要依次开启维持泵、真空计电源,等待真空度达到一定值(如小于10)后,再开启机械泵进行预抽真空。
二、安装与调试
安装镀膜材料:安装固定钨螺旋加热子(或其他蒸发源),将镀膜材料(如铝丝)穿放在加热子内。
放置基材:把待镀膜的基材(如PVDF薄膜和铝盖板)固定在转动圆盘上,确保基材表面清洁无杂质。
清理真空室:清理钟罩内各部位,确保无任何杂质污物,以免影响镀膜质量。
落下钟罩:确认所有部件安装完毕后,落下钟罩,准备进行镀膜操作。
三、镀膜过程
抽真空:启动真空镀膜设备的抽真空机械泵,继续降低真空室内的气压。对于需要高真空的镀膜工艺,可能需要开启扩散泵等进一步降低气压。
开通冷却水:在镀膜过程中,可能需要开通冷却水以控制设备温度。
启动镀膜源:当真空度达到要求后,启动镀膜源(如电子枪、蒸发源等),开始镀膜操作。根据镀膜材料和要求,调整镀膜源的功率、气体流量等参数。
监测镀膜过程:在镀膜过程中,使用监测仪器(如石英晶体微天平)实时监测薄膜的厚度和质量,确保镀膜效果符合设计要求。
四、镀膜完成
关闭镀膜源:当镀膜达到预定厚度或时间后,关闭镀膜源。
停止抽真空:依次关闭真空泵、机械泵等真空设备,停止抽真空操作。
充气与升钟罩:向真空室内充气至大气压,然后升起钟罩,取出镀膜完成的基材。
清理与维护:对镀膜机进行清理和维护,包括清理真空室、更换耗材等,确保设备处于良好状态。