镀膜机维护保养注意事项
1.日常清洁:定期清理设备表面灰尘与污渍,用干净软布擦拭。对于镀膜机内部,需按照设备使用说明书中的清洁方法进行清洗,避免使用腐蚀性强的洗涤液。
2.检查密封:经常检查镀膜机的密封部件,如密封圈、门阀等,确保其密封性能良好,防止气体泄漏影响镀膜质量。
3.保养真空泵: 真空泵是镀膜机的关键部件,需定期更换真空泵油,清洁泵体内部,检查泵的性能,确保其抽气能力正常。
4.校准仪表:对镀膜机上的各种仪表,如压力计、温度传感器等,定期进行校准,保证测量数据准确可靠。
5.维护镀膜源:定期检查镀膜源的工作状态,如蒸发舟、溅射靶等,及时更换磨损或损坏的部件,确保镀膜材料均匀沉积。
6.电气系统维护:检查电气线路是否有老化、破损现象,确保各电器元件连接牢固,防止出现短路、漏电等安全隐患。
7.关键部件更换:对于设备中的重要零部件,如真空泵、马达等,应定期更换以确保设备正常运行。
8.专业检查:除了日常维护,还应定期请专业人员对设备进行全面检查,发现问题及时解决。
9.记录管理:建立维护档案,详细记录每次维护时间、内容及结果,便于追踪设备状态。
此外,针对不同类型的镀膜机(如PVD镀膜机、光学镀膜机等),可能还需要采取特定的维护措施。例如,PVD镀膜机需要特别注意真空系统的清洁与检查、靶材与电源管理以及基础参数记录等。而光学镀膜机则可能更注重电子枪安装与维护、光路的检修与维护等。