一、金属材料
常见金属:如铝(Al)、铜(Cu)、铬(Cr)、钛(Ti)、镍(Ni)、金(Au)、银(Ag)等,这些金属具有良好的导电性、导热性或装饰性。
合金材料:如不锈钢、铝合金等,通过镀膜可以进一步提升其耐腐蚀性、硬度或美观度。
二、非金属材料
氧化物:如二氧化硅(SiO₂)、氧化铝(Al₂O₃)、氧化锌(ZnO)等,这些氧化物具有优异的绝缘性、耐磨性或光学性能。
氮化物:如氮化硅(Si₃N₄)、氮化钛(TiN)等,氮化物通常具有高硬度、高耐磨性和良好的化学稳定性。
碳化物:如碳化钛(TiC)、碳化钨(WC)等,碳化物具有极高的硬度和耐磨性,适用于需要承受高负荷或高速摩擦的场合。
其他非金属化合物:如类金刚石(DLC)膜等,具有类似金刚石的硬度和耐磨性,但成本更低。
三、半导体材料
硅(Si):作为半导体工业的基础材料,通过镀膜可以形成PN结、欧姆接触等关键结构。
砷化镓(GaAs)、氮化镓(GaN)等:这些化合物半导体材料在高速、高频、大功率电子器件中有广泛应用,镀膜技术可以进一步提升其性能。
四、有机高分子材料
聚合物:如聚酰亚胺(PI)、聚对苯二甲酸乙二醇酯(PET)等,通过镀膜可以赋予其导电性、抗静电性或提高表面硬度等性能。
五、特殊功能材料
光学膜材料:用于制造增透膜、反射膜、滤光片等光学元件,提高光学系统的性能。
生物相容性材料:在医疗器械表面沉积生物相容性好的膜层,提高器械的耐用性和安全性。
自清洁材料:如具有光催化性的二氧化钛(TiO₂)膜等,可以使表面易于清洁并具有抗菌性能。