洁净室分级的核心指标是单位体积(每立方米)空气中,特定粒径悬浮粒子的最大允许数量,主要关注 ≥0.1μm、≥0.2μm、≥0.3μm、≥0.5μm、≥5μm 五个粒径区间(不同等级关注的粒径不同,高洁净等级需检测更小粒径)。以下是典型等级的粒子浓度限值(核心粒径):
1. ISO 1 级(最高洁净等级)
适用于芯片光刻、超高精度传感器制造等场景,要求每立方米空气中 ≥0.1μm 粒子 ≤10 个,≥0.5μm 粒子几乎为 0,需采用单向流(层流)气流组织,且对温湿度、振动、静电控制要求极高。
2. ISO 5 级(对应原 “百级” 洁净室)
是精密制造与医药无菌区的常用等级,每立方米 ≥0.5μm 粒子 ≤3520 个,≥5μm 粒子 ≤29 个。典型应用包括半导体晶圆加工、制药无菌灌装线、医院手术室(A 级区)。
3. ISO 7 级(对应原 “万级” 洁净室)
每立方米 ≥0.5μm 粒子 ≤352000 个,≥5μm 粒子 ≤29300 个,适用于电子元器件组装、制药配液区、医疗器械生产等场景,多采用非单向流(乱流)气流。
4. ISO 8 级(对应原 “十万级” 洁净室)
每立方米 ≥0.5μm 粒子 ≤3520000 个,≥5μm 粒子 ≤293000 个,是通用性较强的等级,适用于食品无菌包装、化妆品生产、普通电子车间等场景。
5. ISO 9 级
洁净度最低,接近普通受控环境,适用于对洁净度要求不高的辅助区域,如洁净室的更衣间、物料暂存区等。