一、洁净室等级划分标准
分级的核心指标是单位体积(每立方米)空气中,特定粒径悬浮粒子的最大允许数量,主要关注 ≥0.1μm、≥0.2μm、≥0.3μm、≥0.5μm、≥5μm 五个粒径区间(不同等级关注的粒径不同,高洁净等级需检测更小粒径)。以下是典型等级的粒子浓度限值(核心粒径):
1. ISO 1 级
洁净等级最高,适用于芯片光刻、超高精度传感器制造等场景,要求每立方米空气中 ≥0.1μm 粒子 ≤10 个,≥0.5μm 粒子几乎为 0,需采用单向流(层流)气流组织,且对温湿度、振动、静电控制要求极高。
2. ISO 5 级
是精密制造与医药无菌区的常用等级,每立方米 ≥0.5μm 粒子 ≤3520 个,≥5μm 粒子 ≤29 个。典型应用包括半导体晶圆加工、制药无菌灌装线、医院手术室(A 级区)。
3. ISO 7 级
每立方米 ≥0.5μm 粒子 ≤352000 个,≥5μm 粒子 ≤29300 个,适用于电子元器件组装、制药配液区、医疗器械生产等场景,多采用非单向流(乱流)气流。
4. ISO 8 级
每立方米 ≥0.5μm 粒子 ≤3520000 个,≥5μm 粒子 ≤293000 个,是通用性较强的等级,适用于食品无菌包装、化妆品生产、普通电子车间等场景。
5. ISO 9 级
洁净度最低,接近普通受控环境,适用于对洁净度要求不高的辅助区域,如洁净室的更衣间、物料暂存区等。

二、洁净室等级标准的关键说明
1.粒径与等级的关联
洁净等级越高,对更小粒径粒子的控制越严格。例如 ISO 1–3 级需检测 ≥0.1μm 粒子,而 ISO 7–9 级仅需检测 ≥0.5μm 和 ≥5μm 粒子即可满足分级要求。
2.检测状态的影响
等级限值需明确检测状态:空态(无设备、无人员)、静态(设备就绪、无人员)、动态(正常生产 / 操作)。动态下的粒子限值通常会放宽,因为人员操作、设备运行会产生额外粒子。
3.与旧标准的对应关系
国内早期使用 “百级、千级、万级、十万级” 的称呼,对应 ISO 标准的关系为:百级≈ISO 5 级,千级≈ISO 6 级,万级≈ISO 7 级,十万级≈ISO 8 级,该对应关系仅为近似参考,正式验收需以 ISO 或 GB/T 25915.1 为准。