1960年，毕业于吉林工业大学机械制造专业。
1960年至1998年，在中科院长春光学精密机械研究所从事超精密齿轮制造研究工作。
20世纪80年代和90年代，开展激光光盘刻录母机和微型机械研究工作。
1991年，当选中国科学院院士。
1992年，组建中国第一个微型机械研究室。
1996年，负责撰写“十五”863 MEMS发展规划。同年被聘为大连理工大学教授，兼任机械工程系学术委员会主任。
1998年12月，正式调转至大连理工大学工作，先后担任大连理工大学机械工程学院学术委员会主任、校学位委员会副主任，微机电系统研究中心主任。
1999年，组建大连理工大学跨院系、跨学科的微系统研究中心。
2003年，参与撰写国家中长期科学与技术发展规划中的纳米技术与微系统分专题。
2004年，组建辽宁省微纳米技术及系统重点实验室/微系统与微制造辽宁省高校重点实验室。
2014年，担任2011高端制造装备协同创新中心工艺首席科学家。
2018年8月29日，当选中国仪器仪表学会会士。
1985，获“吉林省有突出贡献的中青年科技人才”称号。
1991，获“中国科学院先进工作者”。
2003，获“大连市特等劳动模范”称号。
2004，获“辽宁省五一劳动奖章”。
1978年，《高精度小模数标准齿轮》获“全国科学大会奖”。
1985年，《超精密齿轮工艺技术》获“国家科技进步二等奖”。
1992年，《光盘伺服槽及预制格式刻划机》获“国家科技进步二等奖”。
1999年，《高精度渐开线样板》获“国家科技进步三等奖”。
男性名人
女性名人