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IGBT是什么时候发明的 IGBT发展到第几代了

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摘要:IGBT作为一种半导体器件,现如今在新能源汽车等领域应用广泛,它是20世纪80年代由B•贾扬•巴利加发明的,发展至今已经经过了7代的更新,从第一代的平面栅+穿通(PT)到第七代的微沟槽栅+场截止(MicroPatternTrench),性能不断得到提升。下面一起来了解一下IGBT是什么时候发明的以及IGBT发展到第几代了吧。

一、IGBT是什么时候发明的

IGBT全称叫绝缘栅双极型晶体管,是一种复合型结构器件,它是20世纪80年代发明的,发明者是B•贾扬•巴利加。

在20世纪5、60年代发展起来的双极性器件,通态电阻很小,电流控制、控制电路等复杂且功耗大。随后发展起来的单极性器件,通态电阻很大,电压控制、控制电路简单且功耗小。例如功率双极晶体管技术的问题是厚P-基区减小电流增益,小于10;驱动电路贵而复杂;保护的吸收电路增加了额外成本。而功率MOSFET技术的问题是厚的N-漂移区增加了导通电阻。这两类器件都不能令人满意,这时业界就向往着有一种新的功率器件,能同时具有简单的开关控制电路,以降低控制电路功能与制造成本,以及很低的通态电压,以减少器件自身的功耗。这就是IGBT诞生的背景。

1980年前后,IGBT被B•贾扬•巴利加提出,到了1985年前后,第一款高品质器件成功试制了样品,并很快在照明、家电控制、医疗等产品中使用,经过几十年的持续应用和不断改进,IGBT现在已成为电子电力领域中最重要的功率开关器件之一。

二、IGBT发展到第几代了

自20世纪80年代发展至今,IGBT 芯片经历了7代技术及工艺的升级,但现在市场上应用比较广泛的还是第4代的IGBT。

1、第一代:平面栅 穿通(PT)

出现时间:1988年。PT是最初代的IGBT,使用重掺杂的P 衬底作为起始层,在此之上依次生长N buffer,N-base外延,最后在外延层表面形成元胞结构。工艺复杂,成本高,饱和压降呈负温度系数,不利于并联,在80年代后期逐渐被NPT取代,目前IGBT产品已不使用PT技术。

2、第二代平面栅 非穿通(NPT)

出现时间:1997年。NPT与PT不同在于,它使用低掺杂的N-衬底作为起始层,先在N-漂移区的正面做成MOS结构,然后用研磨减薄工艺从背面减薄到IGBT电压规格需要的厚度,再从背面用离子注入工艺形成P collector。在截止时电场没有贯穿N-漂移区,NPT不需要载流子寿命控制,但它的缺点在于,如果需要更高的电压阻断能力,势必需要电阻率更高且更厚的N-漂移层,这意味着饱和导通电压Vce(sat)也会随之上升,从而大幅增加器件的损耗与温升。

3、第三代:沟槽栅 场截止(Trench FS)

出现时间:2001年。沟槽型IGBT中,电子沟道垂直于硅片表面,消除了JFET结构,增加了表面沟道密度,提高近表面载流子浓度,从而使性能更加优化。得益于场截止以及沟槽型元胞,IGBT3的通态压降更低,工作结温125℃较2代没有太大提升,开关性能优化。

4、第四代:沟槽栅 场截止(Trench FS)

出现时间:2007年。IGBT4是目前使用最广泛的IGBT 芯片技术,电压包含600V,1200V,1700V,电流从10A到3600A。4代较3代优化了背面结构,漂移区厚度更薄,背面P发射极及Nbuffer的掺杂浓度及发射效率都有优化。同时,最高允许工作结温从第3代的125℃提高到了150℃增加了器件的输出电流能力。

5、第五代:沟槽栅 场截止 表面覆铜(Trench FS)

出现时间:2013年。第五代IGBT使用厚铜代替了铝,铜的通流能力及热容都远远优于铝,因此IGBT5允许更高的工作结温及输出电流。同时芯片结构经过优化,芯片厚度进一步减小。

6、第六代:沟槽栅 场截止(Trench FS)

出现时间:2017年。6代是4代的优化,器件结构和IGBT4类似,但是优化了背面P 注入,从而得到了新的折衷曲线。IGBT6目前只在单管中有应用。

7、第七代:微沟槽栅 场截止(MicroPatternTrench)

出现时间:2018年。IGBT7沟道密度更高,元胞间距也经过精心设计,并且优化了寄生电容参数,从而实现5kv/us下的最佳开关性能。IGBT7Vce(sat)相比IGBT4降低20%,可实现最高175℃的暂态工作结温。

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