IGBT生产工艺流程 igbt生产设备有哪些

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摘要:IGBT芯片的生产流程包括晶圆生产、芯片设计、芯片制造三个步骤,一般IGBT芯片还要通过器件封装制成IGBT模块或IGBT单管后再投入使用。生产IGBT需要用到的设备有很多,主要有真空焊接炉、一次邦线机、二次邦线机、推拉力测试机、成品动态测试机、高温烘箱、氮气烘箱、清洗台、DBC静态测试机等。下面一起来详细了解一下IGBT生产工艺流程以及igbt生产设备有哪些吧。

一、IGBT生产工艺流程

IGBT在新能源汽车等领域应用广泛,IGBT的生产能力对于整个上下游产业的影响非常大,那么IGBT是怎么生产的呢?

据了解,IGBT的生产流程主要包括四个步骤:

1、晶圆生产

包含硅提炼及提纯、单晶硅生长、晶圆成型三个步骤,国际主流是8英寸晶圆,部分晶圆厂12英寸产线逐步投产,晶圆尺寸越大,良品率越高,最终生产的单个器件成本越低,市场竞争力越大。

2、芯片设计

IGBT制造的前期关键流程,主流的商业化产品基于Trench-FS设计,不同厂家设计的IGBT芯片特点不同,表现在性能上有一定差异。

3、芯片制造

IGBT芯片制造高度依赖产线设备和工艺,全球能制造出顶尖光刻机的厂商不足五家;要把先进的芯片设计在工艺上实现有非常大的难度,尤其是薄片工艺和背面工艺,目前这方面国内还有一些差距。

4、器件封装

器件生产的后道工序,需要完整的封装产线,IGBT模块的封装流程一般是:芯片和DBC焊接绑线→DBC和铜底板焊接→安装外壳→灌注硅胶→密封→终测。

二、igbt生产设备有哪些

IGBT的生产需要用到很多生产设备,主要有:

真空焊接炉、X-Ray、一次邦线机、二次邦线机、推拉力测试机、超声波扫描、等离子清洗、成品动态测试机、高温烘箱、氮气烘箱、清洗台、DBC静态测试机、半成品静态测试机、点胶机、弧度测试、超声波焊接、灌胶机、打标机、高温反偏、绝缘测试、成品静态测试机、超声波清洗机。

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